Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок

  • Левченко А.С. Кубанский государственный университет, Краснодар, Россия
  • Серёгина Н.Н. Кубанский государственный университет, Краснодар, Россия
УДК: 53.082.53

Аннотация

В работе представлена концепция сканирующей сенсорной системы на основе поверхностного плазмонного резонанса. Показано, что метод анализа, и особенности построения сенсорной системы позволяют получить информацию о значениях диэлектрической проницаемости и толщины тонкой металлической пленки на каждом ее элементарном участке. В работе дано описание способа обработки данных при измерении параметров тонких пленок. Также указана возможность применения данной системы в исследовании кинетики химических реакций.

Информация об авторах

Антон Сергеевич Левченко
аспирант кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета
Наталья Николаевна Серёгина
аспирантка кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета

Литература

  1. Андреев С.В., Губанова Л.А. Определение оптических постоянных металлических слоев. Оптические и лазерные технологии / Сб. статей под ред. В. Н. Васильева. СПб. 2001. С. 198-203.
  2. Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. Глазунов Е.В. Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 6. С. 98-105.
  3. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича, Д.М. Миллса. М.: Наука, 1985. 525 с.
  4. Bruijn, de H.E., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment // Applied optics. 1990. Vol. 29. No 13. P. 1974-1978.
  5. Bruijn, de H.E., Altenburg B.S.F., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of thickness and dielectric constant of thin transparent dielectric layers using Surface Plasmon Resonance // Optics communications. 1991. Vol. 82. No 5,6. P. 425-432.
  6. Серегина Н.Н., Романова Л.И., Векшин М.М. Микрооптические биосенсоры: методы практической реализации / Кубанский гос. университет. Краснодар, 2003. 42 с. Деп. в ВИНИТИ 3.04.2003, №610-B2003.
Левченко А.С., Серёгина Н.Н. Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок
Выпуск
Страницы
92-95
Раздел
Физика
Прислано
2006-01-10
Опубликовано
2006-03-30