Левченко АС, Серёгина НН. Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок. Экологический вестник научных центров ЧЭС [Internet]. 2006 Mar. 30 [cited 2025 Apr. 12];(1):92-5. Available from: https://vestnik.kubsu.ru/article/view/146