vestnik Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества Ecological Bulletin of Research Centers of the Black Sea Economic Cooperation 1729-5459 Кубанский государственный университет RU 146 Научная статья Original article Физика Physics Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок A sensor system for the scanning of parameters of thin metal films Левченко А.С. Левченко Антон Сергеевич Levchenko Anton S.

аспирант кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета

 Серёгина Н.Н. Серёгина Наталья Николаевна Seryogina Natalya N.

аспирантка кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета

 Кубанский государственный университет, КраснодарKuban State University, Krasnodar 30 03 2006 1 92 95 10 01 2006 18 01 2006 30 03 2006 Copyright (c) 2006 Левченко А.С., Серёгина Н.Н. 2006 Левченко А.С., Серёгина Н.Н. Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

A concept of scanning Surface Plasmon Resonance sensor system is presented. It has been shown that the analysis method and construction features of the sensor system make it possible to obtain information about the dielectric permittivity and thickness of a thin metal film on every its elementary section. The description of data operations is given for thin films measurements. The possibility of the system application in the chemical kinetic research is also pointed out.

В работе представлена концепция сканирующей сенсорной системы на основе поверхностного плазмонного резонанса. Показано, что метод анализа, и особенности построения сенсорной системы позволяют получить информацию о значениях диэлектрической проницаемости и толщины тонкой металлической пленки на каждом ее элементарном участке. В работе дано описание способа обработки данных при измерении параметров тонких пленок. Также указана возможность применения данной системы в исследовании кинетики химических реакций.

 Андреев С.В., Губанова Л.А. Определение оптических постоянных металлических слоев. Оптические и лазерные технологии / Сб. статей под ред. В. Н. Васильева. СПб. 2001. С. 198-203. Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. Глазунов Е.В. Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 6. С. 98-105. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича, Д.М. Миллса. М.: Наука, 1985. 525 с. Bruijn, de H.E., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment // Applied optics. 1990. Vol. 29. No 13. P. 1974-1978. Bruijn, de H.E., Altenburg B.S.F., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of thickness and dielectric constant of thin transparent dielectric layers using Surface Plasmon Resonance // Optics communications. 1991. Vol. 82. No 5,6. P. 425-432. Серегина Н.Н., Романова Л.И., Векшин М.М. Микрооптические биосенсоры: методы практической реализации / Кубанский гос. университет. Краснодар, 2003. 42 с. Деп. в ВИНИТИ 3.04.2003, №610-B2003.