A sensor system for the scanning of parameters of thin metal films
UDC
53.082.53Abstract
A concept of scanning Surface Plasmon Resonance sensor system is presented. It has been shown that the analysis method and construction features of the sensor system make it possible to obtain information about the dielectric permittivity and thickness of a thin metal film on every its elementary section. The description of data operations is given for thin films measurements. The possibility of the system application in the chemical kinetic research is also pointed out.
References
- Андреев С.В., Губанова Л.А. Определение оптических постоянных металлических слоев. Оптические и лазерные технологии / Сб. статей под ред. В. Н. Васильева. СПб. 2001. С. 198-203.
- Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. Глазунов Е.В. Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 6. С. 98-105.
- Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича, Д.М. Миллса. М.: Наука, 1985. 525 с.
- Bruijn, de H.E., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment // Applied optics. 1990. Vol. 29. No 13. P. 1974-1978.
- Bruijn, de H.E., Altenburg B.S.F., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of thickness and dielectric constant of thin transparent dielectric layers using Surface Plasmon Resonance // Optics communications. 1991. Vol. 82. No 5,6. P. 425-432.
- Серегина Н.Н., Романова Л.И., Векшин М.М. Микрооптические биосенсоры: методы практической реализации / Кубанский гос. университет. Краснодар, 2003. 42 с. Деп. в ВИНИТИ 3.04.2003, №610-B2003.
Downloads
Downloads
Dates
Submitted
Accepted
Published
How to Cite
License
Copyright (c) 2006 Левченко А.С., Серёгина Н.Н.
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.