Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок

Авторы

  • Левченко А.С. Кубанский государственный университет, Краснодар, Российская Федерация
  • Серёгина Н.Н. Кубанский государственный университет, Краснодар, Российская Федерация

УДК

53.082.53

Аннотация

В работе представлена концепция сканирующей сенсорной системы на основе поверхностного плазмонного резонанса. Показано, что метод анализа, и особенности построения сенсорной системы позволяют получить информацию о значениях диэлектрической проницаемости и толщины тонкой металлической пленки на каждом ее элементарном участке. В работе дано описание способа обработки данных при измерении параметров тонких пленок. Также указана возможность применения данной системы в исследовании кинетики химических реакций.

Информация об авторах

  • Антон Сергеевич Левченко

    аспирант кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета

  • Наталья Николаевна Серёгина

    аспирантка кафедры оптоэлектроники Кубанского государственного университета

Библиографические ссылки

  1. Андреев С.В., Губанова Л.А. Определение оптических постоянных металлических слоев. Оптические и лазерные технологии / Сб. статей под ред. В. Н. Васильева. СПб. 2001. С. 198-203.
  2. Хомченко А.В., Сотский А.Б., Романенко А.А. Глазунов Е.В. Шульга А.В. Волноводный метод измерения параметров тонких пленок // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 6. С. 98-105.
  3. Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред / Под ред. В.М. Аграновича, Д.М. Миллса. М.: Наука, 1985. 525 с.
  4. Bruijn, de H.E., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of dielectric permittivity and thickness of a metal layer from a surface plasmon resonance experiment // Applied optics. 1990. Vol. 29. No 13. P. 1974-1978.
  5. Bruijn, de H.E., Altenburg B.S.F., Kooyman R.P.H., Greve J. Determination of thickness and dielectric constant of thin transparent dielectric layers using Surface Plasmon Resonance // Optics communications. 1991. Vol. 82. No 5,6. P. 425-432.
  6. Серегина Н.Н., Романова Л.И., Векшин М.М. Микрооптические биосенсоры: методы практической реализации / Кубанский гос. университет. Краснодар, 2003. 42 с. Деп. в ВИНИТИ 3.04.2003, №610-B2003.

Скачивания

Данные по скачиваниям пока не доступны.

Загрузки

Выпуск

№ 1 (2006)

Страницы

92-95

Раздел

Физика

Даты

Поступление

10 января 2006

После доработки

18 января 2006

Публикация

30 марта 2006

Как цитировать

[1]
Левченко, А.С., Серёгина, Н.Н., Сенсорная система для сканирования параметров тонких металлических пленок. Экологический вестник научных центров Черноморского экономического сотрудничества, 2006, № 1, pp. 92–95.

Лицензия

Copyright (c) 2006 Левченко А.С., Серёгина Н.Н.

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.