Применение методов электротермического и магнетронного напыления для создания водородопроницаемых металлических катализаторов
УДК
544.582.2Аннотация
Исследовано применение методов электротермического и магнетронного напыления для получения тонких пленок, содержащих палладий и серебро. В процессе электротермического напыления применяли косвенный нагрев испаряемого материала в вольфрамовой и танталовой лодочке, через которую пропускался электрический ток, и непосредственный нагрев тонкой пластинки сплава палладия электрическим током. Разработана составная мишень для магнетронного напыления сплавов с использованием пластинок серебра и палладия с различным соотношением их площадей. Определена зависимость состава пленок от состава мишени. В результате напыления в течении 40 мин. из мишени с отношением площадей S(Ag)/S(Pd)=20,8/79,2 получен образец толщиной 1,1 мкм, содержание серебра в образце составило 23,2±0,7%.
Ключевые слова:
палладиевый сплав, газодиффузионный водородный электрод, электротермическое и магнетронное напыление, палладий содержащие тонкие пленкиБиблиографические ссылки
- Grashoff G.J., Pilkington C.E., Corti C.W. The purification of hydrogen: a review of the technology emphasizing the current status of palladium membrane diffusion // Platinum Metals Review. 1983. Vol. 27. No. 4. P. 157-169.
- Бурханов Г.С., Горина Н.Б., Кольчугина Н.Б., Рошан Н.Р. Сплавы палладия для водородной энергетики // Российский химический журнал. 2006. Т. L. №4. С. 36-40. [Burhanov G.S., Gorina N.B., Kol'chugina N.B., Roshan N.R. Splavy palladija dlja vodorodnoj jenergetiki [The palladium alloys for hydrogen energy]. Rossijskij himicheskij zhurnal [Russian Chemical Journal], 2006, vol. L, no. 4, pp. 36-40. (In Russian)]
- Knapton A.G. Palladium alloys for hydrogen diffusion membranes: a review of high permeability materials // Platinum Metals Review. 1977. Vol. 21. No. 2. P. 44-50.
- Mordkovich V.Z., Baichtock Y.K., Sosna M.H. The large-scale production of hydrogen from gas mixtures: a use for ultra-thin palladium alloy membranes // International Journal of Hydrogen Energy. 1993. Vol. 18. No. 7. P. 539-544.
- Shu J., Adnot A., Grandjean B.P.A., Kaliaguine S. Structurally stable composite Pd-Ag alloy membranes: introduction of a diffusion barrier // Thin Solid Films. 1996. Vol. 286. No. 1-2. P. 72-79.
- Ali Jawad K, Newson E.J., Rippin D.W.T. Deactivation and regeneration of Pd/Ag membranes for dehydrogenation reactions // Journal of Membrane Science. 1994. Vol. 89. No. 1-2. P. 171-184.
- Paglieri S.N., Way J.D. Innovations in palladiummembrane research // Separation & Purification Reviews. 2002. Vol. 31. No. 1. P. 1-169.
- Patent 6086729 US. Method of manufacturing thin metal membranes / Bredesen R., Klette H.
- Shu J., Grandjean B.P.A., Van Neste A., Kalaguine S. Catalytic palladium-based membrane reactors: a review // Canadian Journal of Chemical Engineering. 1991. Vol. 69. P. 1036-1060.
- Elkina I.B., Meldon J.H. Hydrogen transport in palladium membranes // Desalination. Vol. 147. No. 1-3. P. 445-448.
- Amandusson H., Ekedahl L.G., Dannetun H. Hydrogen permeation through surface modified Pd and PdAg membranes // Journal of Membrane Science. 2001. Vol. 193. No. 1. P. 35-47.
- Peters T.A., Tucho W.M., Ramachandran A., Stange M., Walmsley J.C., Holmestad R., Borg A., Bredesen R. Thin Pd-23%Ag/stainless steel compositemembranes: long-term stability, life-time estimation and post-process characterization // Journal of Membrane Science. 2009. Vol. 326. No. 2. P. 572-581.
- Савицкий Е.М., Полякова В. П., Горина Н.Б., Рошан Н.Р. Металловедение платиновых металлов. М.: Металлургия, 1975. 278 с. [Savickij E.M., Poljakova V. P., Gorina N.B., Roshan N.R. Metallovedenie platinovyh metallov [Physical metallurgy of platinum metals]. Moscow, Metallurgija, 1975, 278 p. (In Russian)]
- Благородные металлы. Справочник. / под. ред. Е.М. Савицкого. М.: Металлургия, 1984. 592 с. [Blagorodnye metally. Spravochnik [Noble metals. The guide]. Moscow, Metallurgija, 1984, 592 p. (In Russian)]
- Химическая энциклопедия. В 5 т. Т. 3. Меди - Полимерные / редкол.: Кнунянц И.Л. (гл. ред.) [и др.]. М., 1995. 641 с. [Himicheskaja jenciklopedija [Chemical encyclopedia]. Vol. 3. Medi - Polimernye. Moscow, 1995, 641 p. (In Russian)]
- Химическая энциклопедия. В 5 т. Т. 4. Полимерные - Трипсин / редкол.: Зефиров Н. С. (гл. ред.) [и др.]. М., 1995. 639 с. [Himicheskaja jenciklopedija [Chemical encyclopedia]. Vol. 4. Polimernye - Tripsin. Moscow, 1995, 639 p. (In Russian)]
Скачивания

Загрузки
Даты
Поступила в редакцию
Принята к публикации
Публикация
Как цитировать
Лицензия
Copyright (c) 2014 Барышев М.Г., Болотин С.Н., Петриев И.С., Фролов В.Ю., Джимак С.С.

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.